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Homeバイオサイエンス試薬・材料・消耗品>ScanSens社製品 SPMプローブ関連消耗品

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SPMプローブ
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ScanSens社製品
SPMプローブ(カンチレバー)関連消耗品
SPMプローブ / Test samples / グラファイト基板 / SPM較正用グレーティング


SPMプローブ(カンチレバー)

GOLDENシリーズ / ETALONシリーズ / スーパーシャーププローブ / 高分解能プローブ / ウィスカータイププローブ / Top Visualプローブ / SNOMプローブ/ 単結晶ダイヤモンドプローブ

 ⇒製品リストダウンロード(Excel)



GOLDENシリーズ
高解像度モード用SPMプローブです。
プローブは、導電性ティップと磁性ティップコーティング、反射コーティングで供給されます。
先鋭な先端により、サンプルの高品質な画像を得ることができます。
プローブは多くのSPM装置と互換性を持つ標準的なチップサイズです。
【標準プローブ】
 ・ノンコンタクト/セミコンタクトプローブ
 ・フォースモジュレーションプローブ
 ・コンタクトプローブ

共振周波数と力定数の広い範囲で、ノンコンタクト/セミコンタクトプローブを販売しています。反射面は、AuまたはAIコート、ティップコートはありません。
 
(スキャンイメージ)
 
サンプル Central part of the ant eye(family Formicidae). Eye consists of many smaller eyes with diameter 15μm.
撮影提供 Dr. Jan Soltys
(Institute of Electrical Enginnering, Slovak Academy of Sciences)
スキャンサイズ 60×55μm
プローブ CSG10
サンプル AFM-image of polyvinyl alcohol film containing tripsin. Crystalline part of polymer film.
撮影提供 Ms. Alexandra A. Sertsova
(Moscow State Textile University 'A.N. Kosygin')
スキャンサイズ 12.5×12.5μm
プローブ CSG01

【コーティングプローブ】
 ・導電性プローブ
 ・磁性プローブ

導電性プローブは、TiN、PTIR、Auコーティングを有します。SCM、SKM、SRI、EFMモードに有効です。磁性プローブは、高解像度イメージ撮影のために良好な磁気信号を得ることが可能です。

 
(スキャンイメージ)
 
サンプル ビットサイズが20-30nmまでのハードディスクドライブ(500Gbyte)の磁気構造
プローブ MFM01
サンプル1:鉄のガーネット膜
プローブ:MFM01
サンプル2:鉄のガーネット膜
プローブ:MFM_LM
低モーメント高解像度磁気プローブMFM_LMのティップは15nmのCo-Crコーティングされています。それは、標準のMFMプローブと比較して約2倍薄いです。MFMティップの磁気モーメントを小さくすると、約20エルステッド保磁力を有する鉄ガーネット膜などの低エルステッド磁気サンプルを撮影する際に有効です。

40nmのCo-CrコーティングのMFMを使用した試料は、磁区パターンの混乱に至ります。ティップは局所磁化反転を誘発します。(サンプル1)

減少した浮遊磁場による低モーメントは、MFM_LMによる撮影中に大幅な磁化反転を減少し、品質が向上されます。(サンプル2)
 高い外部磁場の磁気測定は、撮影中のMFMティップとその磁化分布の安定性に対応する保持力が求められています。高い磁場に対応できない磁気ティップは、避けられない磁化逆転と磁気イメージに対応する歪みに至ります。
Co-Crコーティングされた磁気ティップは、通常水平XまたはY方向に垂直なZ方向に200-800Oeの保持力を示します。(左図)
高保磁力合金のMFM_HCプローブは、基本的に高い値に基づく新しい磁性プローブです。垂直方向に500-800Oeと水平方向に2kOe以上です。

【ティップレスプローブ】

ユーザー自身でティップの先端に粒子などを修飾することが可能です。

品名 レバー
カンチレバー 共振
周波数
(kHz)
力定数
(N/m)
曲率
半径
(nm)
裏面
コート
ティップ
コート
容量
(chips)
税別価格 Cat.#
長さL 幅W 厚みT
(±5
μm)
(±3
μm)
(±0.5
μm)
Typ Typ
ノンコンタクト/
セミコンタクト
プローブ
1 125 30 2 150 5.1 6 Au - 15 ¥90,000 NSG01/15
95 30 2 240 11.8 6 Au - 15 ¥90,000 NSG10/15
125 40 4 320 40 6 Au - 15 ¥90,000 NSG30/15
135 30 1.5 90 1.74 6 Au - 15 ¥90,000 NSG03/15
225 40 7.8 190 58 6 Au - 15 ¥90,000 NSG_L/15
フォース
モジュレーション
プローブ
1 225 32 2.5 60 3 6 Au - 15 ¥90,000 FMG01
コンタクト
プローブ
1 190 30 1.5 48 0.6 6 Au - 15 ¥90,000 CSG30/15
350 30 1 9.8 0.03 6 Au - 15 ¥90,000 CSG01/15
225 30 1 22 0.11 6 Au - 15 ¥90,000 CSG10/15
導電性
ノンコンタクト/
セミコンタクト
プローブ
1 125 40 4 320 40 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 NSG30/Pt/15
135 30 1.5 90 1.74 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 NSG03/Pt/15
125 30 2 150 5.1 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 NSG01/Pt/15
95 30 2 240 11.8 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 NSG10/Pt/15
125 40 4 320 40 ~35 Au Au 15 ¥104,000 NSG30/Au/15
95 30 2 240 11.8 ~35 Au Au 15 ¥104,000 NSG10/Au/15
125 30 2 150 5.1 ~35 Au Au 15 ¥104,000 NSG01/Au/15
導電性フォース
モジュール
プローブ
1 225 32 2.5 70 3 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 FMG01/Pt/15
225 32 2.5 70 3 ~35 Au Au 15 ¥104,000 FMG01/Au/15
導電性
コンタクト
プローブ
1 190 30 1.5 48 0.6 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 CSG30/Pt/15
350 30 1 9.8 0.03 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 CSG01/Pt/15
225 30 1 22 0.11 ~35 Ptlr Ptlr 15 ¥104,000 CSG10/Pt/15
350 30 1 9.8 0.03 ~35 Au Au 15 ¥104,000 CSG01/Au/15
225 30 1 22 0.11 ~35 Au Au 15 ¥104,000 CSG10/Au/15
磁気プローブ 1 225 32 2.5 70 3 40 Al CoCr 15 ¥160,000 MFM01/15
225 32 2.5 70 3 25-30 Al CoCr 15 ¥158,000 MFM_LM/15
ティップレス
プローブ
1 350 30 1 10 0.03 - Au - 15 ¥90,000 CSG01_tipless/15
125 40 4 320 40 - Au - 15 ¥90,000 NSG30_tipless/15


ETALONシリーズ
(特長)
・シャープな先端(曲率半径10nm未満)
・高精度(±10%)な共振周波数
・1チップ上に2つのレバー
・簡便な操作のための特別なチップ形状
・高アスペクト比の先端
・カンチレバーの強化された裏面コーティング

カンチレバーのサイズ
  【標準プローブ】
 ・ノンコンタクト/セミコンタクトプローブ
 ・フォースモジュレーションプローブ
 ・コンタクトプローブ

広範囲な共振周波数と力定数により、プローブを準備しています。反射面はAuコートです。ティップコートはありません。
 
(スキャンイメージ)
     
Si基板上に自己組織化PS-B-PMMA膜の厚さ振動
撮影:Mrs. Denise Erb, Deutsches Elektronensynchrotron
スキャンサイズ:10×10μm
使用プローブ:HA_NC
Si基板上にエッチングされた緑の穴はピラミッド状のゲルマニウム量子ドット
撮影:Dr. Martyna Grydlik, University of Linz
スキャンサイズ:800×800nm
使用プローブ:HA_NC
シリコン(001)基板上に成長したシリコンゲルマニウム量子ドット
撮影:Dr. Moritz Brehm, Institute of Semiconductor and Solid State Physics
スキャンサイズ:1.3×1.3μm
使用プローブ:HA_NC
熱分解グラファイトのレーザー蒸着工程後の冷基板の表面
撮影:Mrs. Stella Kutrovskaya, Vladimir State University
スキャンサイズ:50×50μm
使用プローブ:HA_NC
Siのジブロック共重合PS-b-PMMAの薄膜の残留ポリスチレンブロック
撮影:Mrs. Denise Erb, Deutsches Elektronensynchrotron
スキャンサイズ:10×10μm
使用プローブ:HA_NC
SPRセンサのためのAu薄膜フィルム
撮影:Mrs. Mara Adriana Canesqui, Center for Semiconductor Components of the State University of Campinas
スキャンサイズ:2×2μm
使用プローブ:HA_NC
 
【ドープダイヤモンドプローブ】
 ・高い耐久性、耐摩耗性があります。
 ・非破壊、長時間の電気顕微鏡測定が可能です。

 
【コーティングプローブ】
 ・導電性プローブ
 ・磁性プローブ

導電性プローブは、W2C、PT、Auコーティングを有します。SCM、SKM、SRI、EFM、モードに有効です。
磁性プローブは、高解像度の長時間撮影のために最適です。

 
スキャンサイズ:10×10μm2(5nmステップ)
断面寸法:2.5μm
スキャンサイズ:8×8μm2(5nmステップ)
断面寸法:2.5μm
新しいCo-Feコーティングの優れた特性を実証するために、高密度HDDの振幅変調の磁気力顕微鏡測定を実施しました。上図の様に解像度の測定に用いるスキャンおよび断面を見ることが可能です。
ハードディスクの異なる機能のセクタを認識することに注目しています。

【ティップレスプローブ】

ユーザー自身でティップの先端に粒子などを修飾することが可能です。

品名 レバー
タイプ
カンチレバー 共振
周波数
(kHz)
力定数
(N/m)
曲率
半径
(nm)
裏面
コート
ティップ
コート
容量
(chips)
税別価格 Cat.#
長さL 幅W 厚みT
(±5
μm)
(±3
μm)
(±0.5
μm)
Typ Typ
ノンコンタクト/
セミコンタクト
プローブ
A 93 34 3 380 34 10 Au - 15 ¥81,000 HA_HR/15
B 123 34 3 230 17
ノンコンタクト/
セミコンタクト
プローブ
A 94 34 1.85 235 12 10 Au - 15 ¥81,000 HA_NC/15
B 124 34 1.85 140 3.5
フォース
モジュレーション
プローブ
 
A 223 34 3 77 3.5 10 Au - 15 ¥81,000 HA_FM/15
B 183 34 3 114 6
コンタクト
プローブ
 
A 264 34 1.85 37 0.65 10 Au - 15 ¥81,000 HA_C/15
B 364 34 1.85 19 0.26
A 224 34 1.85 46 1 10 Au - 15 ¥81,000 HA_CNC/15 
B 184  34 1.85 66 1.5
ドープ
ダイアモンドコート
プローブ
A 93 34 3 380 34 100 Au Diamond 15 ¥237,000 HA_HR_DCP/15
B 123 34 3 230 17
導電性
プローブ
A 93 34 3 380 34 <35 Au W2C
(or Pt, Au)
15 ¥90,000 HA_HR/W2C+/15
(or Pt, Au)
B 123 34 3 230 17 <35
導電性
プローブ
A 94 34 1.85 235 12 <35 Au W2C
(or Pt, Au)
15 ¥90,000 HA_NC/W2C+/15
(or Pt, Au)
B 124 34 1.85 140 3.5 <35
導電性
プローブ
A 223 34 3 77 3.5 <35 Au W2C
(or Pt, Au)
15 ¥90,000 HA_FM/W2C+/15
(or Pt, Au)
B 183 34 3 114 6 <35
導電性
プローブ
A 264 34 1.85 37 0.62 <35 Au W2C
(or Pt, Au)
15 ¥90,000 HA_C/W2C+/15
(or Pt, Au)
B 364 34 1.85 19 0.26 <35
磁気プローブ A 223 34 3 77 3.5 <30 Al CoFe 15 ¥134,000 HA_FM/CoFe/15
B 183 34 3 114 6 <30
ティップレス
プローブ
A 264 34 1.85 37 0.65 - Au - 15 ¥81,000 HA_C/tipless/15
B 364 34 1.85 19 0.26
ティップレス
プローブ
A 94 34 1.85 235 8 - Au - 15 ¥81,000 HA_NC/tipless/15
B 124 34 1.85 140 3.5

スーパーシャーププローブ

・平均的な曲率半径が2nmの非常に先鋭です。
高分解能プローブ

・曲率半径1nmのダイヤモンドライクカーボンのティップにより、数nmサイズのサンプルの高分解像度を得るために有効です。
・高い耐久性は、長時間の測定に有効です。

HOPG上に堆積されたDNAのSPMイメージ。高分解能プローブによって得られたDNAサイズ(2~2.5nm)は、実サイズ(~2nm)にほぼ等しいです。

撮影:Dr. Dmitry Klinov, Institute of Bioorganic Chemistry, Russian Academy of Science
参考文献:"Dmitry Klinov and Sergei Magonov, True molecular resolution in tapping-mode atomic force microscopy with high-resolution probes, Applied physics letters, 84(14), (2004) 2697-2699."

(スキャンイメージ)
   
多孔質酸化アルミニウムのSEM写真
サンプル:アルミニウム基板上の多孔質陽極アルミニウム
直径250-300nm細孔
距離80nmの細孔
酸化物層>10μm
使用プローブ:NSG01_DLC
多孔質酸化アルミニウムのAFM写真
サンプル:アルミニウム基板上の多孔質陽極酸化アルミニウム
直径250-300nmの細孔
距離80nmの細孔
酸化物層>10μm
使用プローブ:NSG01_DLC
サンプル:Si(001)上に成長したピラミッドのGe量子ドット
撮影:Mr. Chris Petz(University of Virginia)
スキャンサイズ:2×2μm
使用プローブ:NSG01_DLC


ウィスカープローブ

・ヒゲ(ウィスカー)の様に延伸したティップにより、深い溝、垂直な側壁を有するサンプルの測定に有効です。

複雑な形状を有するサンプルの測定をする際に、標準プローブは限られたサイズしかなく、狭い隙間の場合に適合しません。
高さの差があるプローブが重要です。
側壁の形状を測定するには、傾きの角度可変が必要です。ウィスカープローブのティップは、標準プローブが測定できない狭い隙間の内部の深くまで到達します。
 
 上図: 左)標準プローブ、右)ウィスカープローブ


 上図: ギャップ幅は約100nmです。これらの画像は、ウィスカープローブの主な利点を示しています。
      標準プローブは、底に到達することに失敗しており、深いパターンの測定は、均一な分布を示しません。
      標準プローブは、深さ170nmの測定。ウィスカープローブは、530nmの測定を達成。
      ウィスカープローブは、均一な分布を示しています。
Top Visual プローブ

・カンチレバーから突出した先鋭なティップは、試料表面上の正確な位置決定を容易にします。

光学顕微鏡の画像
 
TOP VISUALプローブによって
作られたサンプルの地形画像
品名 レバー
カンチレバー 共振
周波数
(kHz)
力定数
(N/m)
曲率
半径
(nm)
裏面
コート
ティップ
コート
容量
(chips)
税別価格 Cat.#
長さL 幅W 厚みT
(±5
μm)
(±3
μm)
(±0.5
μm)
Typ Typ
スーパーシャープ
プローブ
 
1 125 40 4 320 40 2 Al - 10 ¥158,000 NSG30_SS/10
225 32 2.5 70 3 2 Al - 10 ¥158,000 FMG01_SS/10
225 30 1 22 0.11 2 Al - 10 ¥158,000 CSG10_SS/10
高分解能
プローブ
1 130 35 2 150 5.5 1-3 Au DLC 10 ¥170,000 NSG01_DLC/10
100 35 2 235 11.5 1-3 Au DLC 10 ¥170,000 NSG10_DLC/10
ウィスカー
プローブ
1 100 35 2 255 11.5 10 Au - 5 ¥113,000 NSC05_10°/5
250 35 1 20 0.1 10 Au - 5 ¥113,000 CSC05_10°/5
TOP VISUAL
プローブ
1 140 50 5 300 50 6 - - 15 ¥141,000 VIT_P/15
140 50 5 300 50 6 Au - 15 ¥137,000 VIT_P/IR/15


SNOMプローブ
【SNOM Fiber Probe】(Scanning Near field Optical Microscopy/AIコーティングプローブ)

・高品質シングル光ファイバーを使用しています。透過波長400nmから1600nmまでの5種類から選択可能です。

SNOMプローブの先端
 
アルミニウムコーティングを有するプローブティップ
ufern繊維 透過波長
(nm)
モード
フィールド径
第二モード
カットオフ
(nm)
100nm開口部
の工学効率
50nm開口部
の工学効率
数量
(chips)
税別価格 Cat.#
405-HP 400-550 3.5±0.5μm
@515nm
370±20 6×10e-4 6×10e-5 10 ¥293,000 MF001
460-HP 450-600 3.5±0.5μm
@515nm
430±20 4×10e-4 4×10e-5 MF002
630-HP 600-700 4.0±0.5μm
@630nm
570±30 1×10e-4 1×10e-5 MF003
780-HP 780-970 5.0±0.5μm
@850nm
730±30 4×10e-5 5×10e-6 MF004
980-HP 980-1600 4.2±0.5μm
@980nm
920±30 4×10e-6 4×10e-7 MF005

クラッド径 コーティング直径 コーティング膜 短期曲げ半径 長期曲げ半径 プルーフテストレベル
125.0±1.5μm 245±15μm UV硬化、デュアルアクリレート ≧6mm ≧13mm ≧200kpsi(1.4GN/m2)
【SNOM カンチレバー】

カンチレバーの先端が開口しており、SNOMコンタクト、セミコンタクトモードの測定が可能です。

 
  先端形状と開口サイズ
   
カンチレバー 共振周波数(kHz) 力定数(N/m) 数量(chips) 税別価格 型式
長さ(L) 幅(W) Min Typ Max Min Typ Max
500±10um 55±3um 15 21 27 0.41 1 2.3 10 ¥520,000 SNOM_C/10
200±10um 88 130 180 5.9 16.5 39 SNOM_NC/10


単結晶ダイヤモンドプローブ
粘着性のある生物学的試料の測定に、ダイヤモンドプローブは優れています。フィブリルと球状アミロイド凝集体のスキャンのためにダイヤモンドプローブとシリコンプローブの両方を試しました。標準的なシリコンプローブは、2-3時間しか使用できません。(表面が汚れて試料の材料が付着します。)ダイヤモンドプローブは、7時間連続して同じ領域を繰り返し測定しても劣化を示しません。以下の左右の画像は、3時間差で撮影していますが、プローブやサンプルの劣化は認められません。
 
実験では、ダイヤモンドプローブが表面電荷による画像歪みの影響に対して、あまり敏感でないことが示されました。以下の左図に、低湿度条件で標準的なシリコンプローブによって雲母上に銀ナノ粒子の画像を見つけることができます。この画像を取得するには、約1時間のパラメーター調整が必要です。エンジニアは、自由振動に関してカンチレバーの振動の接触振幅を10倍減少させなければなりません。右図では、特別な調整をせずにダイヤモンドプローブで得られた同じ表面の測定を見ることができます。この画像はより鮮明であり、粒子のサイズは小さいことがわかります。
【仕様及び価格】

・チップの厚み:0.4mm
・裏面コート:Au
・ティップコーン角:<25°
・ティップアスペクト比:>1:5
・ティップ曲率半径:<10nm

カンチレバー 共振周波数
(kHz)
力定数
(N/m)
数量
(chips)
税別価格 型式
長さ 厚み Typ Typ
124±2μm 34±3μm 1.85μm 140 3.5 15 ¥177,000 HA_NC/FD/15
324±2μm 34±3μm 1.85μm 19 0.26 15 ¥177,000 HA_C/FD/15

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