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UVオゾンクリーナー
製品情報
卓上コンパクトタイプ
両面照射タイプ
ラージタイプ
波長選択タイプ
特別仕様
@:UV253V16W
A:UV172-EX
乾式洗浄法
(UVオゾン洗浄)
オプション


  UVオゾンクリーナー

 ※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。


製品情報 オプション

 ※上記項目をクリックすると、当社該当サイトへジャンプします。

 ※デモ機貸し出しも行っております。
 ※
特別仕様も承っております。さらに大型のタイプも計画中です。
UVオゾンクリーナーの外観


製品情報


  「製品名」をクリックすると、当社該当サイトへジャンプします。
 ⇒ 乾式洗浄法(UVオゾン洗浄)の原理及び特長はこちらをクリック

 ⇒ 論文及び技術資料はこちらをクリック
卓上コンパクトタイプ

 ITO膜(有機EL)処理などで使用可能な
 卓上コンパクトタイプです。
 標準タイプと高出力、高密度タイプが
 あります。

 弊社独自設計のオゾン排気装置を接続
 頂ければ、オゾン排気も行えます。
 ⇒ オゾンキラー

UV253
両面照射タイプ

 実績のあるUV253V8の基本構造を
 引き継ぎ、両面(上・下)からUV照射
 が行えます。

 弊社独自設計のオゾン排気装置を接続
 頂ければ、オゾン排気も行えます。
 ⇒ オゾンキラー

UV253D7
ラージタイプ

 実績のあるUV253V8の基本構造を
 引き継ぎ、12インチウェハ・16インチウエハ
 に対応した大型タイプです。
 さらに大型のタイプも承ります。

 弊社独自設計のオゾン排気装置を接続
 頂ければ、オゾン排気も行えます。
 ⇒ オゾンキラー

UV253V16
波長選択タイプ

 UVオゾンクリーナーで簡便にエキシマ
 ランプによる光洗浄が可能となります。

《該当するカタログのページにジャンプ》
特別仕様@

 お客様のご希望によって特別仕様の
 UVオゾンクリーナーをお作り致しました。

 UV253V16をベースとして更にワイドに設計
 致しました。

UV253V16W
特別仕様A

 お客様のご希望によって特別仕様の
 UVオゾンクリーナーをお作り致しました。

 簡便にエキシマランプによる光洗浄が
 可能となります。


UV172-EX
洗浄室及びランプハウス

UV172-EX
オゾンキラー及び点灯電源



 お問い合わせ方法


当社まで、お電話あるいは、メールにて、お問い合わせをお願いします。

【メール送付先】
   ⇒ナノサイエンス部 sales@filgen.jp


【お電話によるご連絡先】
   ⇒ナノサイエンス部 052-624-4388(代表)

お問い合わせ sales@filgen.jp P.052-624-4388 www.filgen.jp
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